广州潽拓光电科技有限公司——广州Agilent分子泵

安捷伦真空推出了一款全新涡轮分子泵 TwisTorr 305，它继承了安捷伦TwisTorr 系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点，同时（参见文章：安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍），还拥有诸多全新的特点（参见文章：新产品 | 安捷伦新型分子泵“新”在哪？），此外，TwisTorr 305 还是安捷伦采用全新设计和制造方法所推出的款真空产品。而广州潽拓光电根据305产品特性研究，可以针对性的提供服务。

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高真空涡轮分子泵是什么？

涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪（比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…）、镀膜机、电子显微镜（SEM、TEM）、聚焦离子束系统（FIB）、表面分析仪器，高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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TwisTorr 404 FS 涡轮分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比，同时支持高气体流速，从而能够通过 DN100 法兰以 400 L/s 的抽速在极低的极限压力下运行，同时可用于高通量应用无烃运行，可确保真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作。低振动和低噪音 (43 dB(A))，打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成免维护轴承，零运行成本通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵的操作防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射，确保不会干扰工艺过程泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到化，可在泵的操作条件下始终保持气体流量和压缩比

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性能指标H2 压缩比3 x 106冷却方法Air coolingWater cooling前级管道法兰尺寸KF 25 NW前级耐压 — N210 mbar启动时间< 5 min噪音水平43 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量10 m³/h抽速 — Ar340 L/s抽速 — H2415 L/s抽速 — He505 L/s抽速 — N2380 L/s气体通量 — Ar、水冷3.3 mbar L/s；195 sccm气体通量 — N2、水冷6.2 mbar L/s；367 sccm极限真空<1 x 10–10 mbar标准和认证61326-1

61010-1

DIR 2006/42/CE

DIR 2014/35/EU

DIR 2014/30/EU

DIR 2011/65/EU法兰类型DN 100贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量22.6 kg额定转速从 40.8 至 49.5 KRPM

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长期存放不用不是的秘诀有客户会认为，长时间停泵不用对分子泵的损耗会比较小。但是，分子泵长时间停泵后，在表面张力和重力的作用下，轴承内部的润滑脂可能会出现收缩成团、分布不均匀等现象，反而会影响分子泵的寿命。为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀，安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月，可以使用软启动功能启动分子泵，转速以阶梯方式缓慢加速，使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月，建议送回维修中心让分子泵在的检测平台上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合轴承。

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StarCell 的设计使其成为能抽除大量惰性气体的离子泵，该泵可以以速度和容量处理、气和氦气等惰性气体。非蒸散型吸气剂技术（NEG）是SAES集团于上世纪七十年发的。非蒸散型吸气剂对氢气、水蒸气、氮气、氧气等活性气体有很大的抽速，其通常与溅射离子泵、涡轮分子泵或者低温泵等其他真空泵结合使用，以改善系统的极限真空或者减少抽气时间。

涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片，如图一所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成，即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用，能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速，有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制，如果气体分子运动速度较大，泵抽真空就比较困难。